摘要:近日,國內領先的半導體自動物料搬運系統(AMHS)整體解決方案供應商「成川科技」完成數千萬元A輪融資,中科創星、中新資本、中博聚力投資。
在半導體行業中,半導體AMHS系統主要負責物料在生產線的自動搬運,是由軟件和硬件組成的一個復雜系統,軟件包括物料控制系統(MCS)和設備層控制系統,硬件包括天車(OHT)、移動機器人(AMR)、傳送線(Conveyor)等搬運設備和潔凈立庫(Clean Stocker)、空中緩存位(OHB)、工作站(Station)等存儲設備以及樓層間的傳送存儲設備(Tower Stocker)等。其中,天車系統是AMHS的核心,具有搬運量大、搬運效率高和生產線空間適配利用率高等優勢。
隨著半導體工藝的復雜度的提升,物料的搬運量也在不斷提升,天車系統和設備作為整廠AMHS解決方案,已經成為12寸晶圓廠的標配。但因技術難度高,過去多年來,市場一直被日本大福和村田公司壟斷。
「成川科技」成立于2020年,專注于提供AMHS整體解決方案,其產品和服務涵蓋生產線AMHS整體規劃設計、自動物料搬運和存儲設備的設計制造以及現場的安裝調試、軟件控制系統的開發等,幫助客戶提升設備效率和產品良率,降低生產成本,提高制造競爭力。
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