近日，清楓資本正式完成對國內(nèi)高端半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)先廠商徐州博康的數(shù)千萬元投資交割。

徐州博康成立于2010年3月25日，基于對單體制備工藝的嫻熟掌握，博康對光刻膠制備各個環(huán)節(jié)逐一攻克，承擔起國家“02專項”中的“ArF光刻膠單體產(chǎn)品的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”的子課題，并得到成功驗收。如今公司已實現(xiàn)了“單體——樹脂、光酸——光刻膠”的全國產(chǎn)化、全產(chǎn)業(yè)鏈布局，打破了日美企業(yè)在高端半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域的寡頭壟斷格局，在保障國產(chǎn)光刻膠材料產(chǎn)業(yè)鏈安全、自主、可控方面取得實質(zhì)性突破。

目前，徐州博康擁有ArF/KrF光刻膠單體、ArF/KrF光刻膠、G線/I線光刻膠、電子束光刻膠等產(chǎn)品，覆蓋集成電路制造、后段封裝、化合物半導(dǎo)體、分立器件、電子束等市場應(yīng)用，客戶覆蓋日本、韓國及國內(nèi)主要集成電路領(lǐng)先制造企業(yè)。

公司已研發(fā)儲備全球80%的光刻膠單體產(chǎn)品技術(shù)，其中KrF光刻膠單體占全球份額超過20%。是國內(nèi)少有能打通光刻膠上游材料的全產(chǎn)業(yè)鏈公司。

在半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域，公司已研發(fā)高端ArF光刻膠26款，其中應(yīng)用于通孔工藝的ArF濕法光刻膠，已經(jīng)能夠應(yīng)用至40nm/28nm工藝節(jié)點，是國內(nèi)第一款國產(chǎn)化的ArF濕法通孔光刻膠；公司已研發(fā)高端KrF光刻膠30款，其中主要針對lift-off工藝的金屬剝離負膠，底部倒角可控，是目前國內(nèi)唯一可提供此類KrF的產(chǎn)品。此外，公司已研發(fā)I 線光刻膠 15 款，以及3大種類的電子束光刻膠，現(xiàn)已為數(shù)十家企業(yè)和高校提供標準化、定制化的電子束光刻膠產(chǎn)品。

徐州博康去年實現(xiàn)歷史性的突破，已有多款半導(dǎo)體光 刻 膠 相 繼 獲 得 了 國 內(nèi) 12 寸 晶 圓 廠 的 訂 單 ， 包 括 ARF-immersion、ARF- dry、KRF、I- line 等，可應(yīng)用于 14-90nm制程節(jié)點。公司2023 年的重心是實現(xiàn)不同料號產(chǎn)品在主流晶圓廠的全面放量。

清楓資本非常看好徐州博康在光刻膠領(lǐng)域的成就和發(fā)展，非常認可管理團隊的理念和企業(yè)的戰(zhàn)略規(guī)劃，相信徐州博康憑借在光刻膠全產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控優(yōu)勢，將引領(lǐng)高端光刻膠國產(chǎn)化浪潮，并為我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈實質(zhì)性的自主可控貢獻力量。

在全球性大國多層次科技競爭逐步向產(chǎn)業(yè)上游基礎(chǔ)性領(lǐng)域深化的背景下，清楓資本持續(xù)看好核心關(guān)鍵材料的國產(chǎn)化自主可控進程，關(guān)注新能源、半導(dǎo)體、軍工領(lǐng)域的材料科學(xué)應(yīng)用。