今日，華控基金投資的國(guó)內(nèi)唯一前道光學(xué)量檢測(cè)設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)深圳中科飛測(cè)科技股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱：中科飛測(cè)）成功過會(huì)。華控基金作為中科飛測(cè)的主要股東，圍繞半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上下游技術(shù)創(chuàng)新和自主可控堅(jiān)定投入，陪伴企業(yè)共同成長(zhǎng)。

科技與產(chǎn)業(yè)深度融合，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體質(zhì)控設(shè)備市場(chǎng)空白

中科飛測(cè)立足于采用光學(xué)檢測(cè)技術(shù)的高端半導(dǎo)體質(zhì)量控制設(shè)備的研發(fā)工作，主要產(chǎn)品為高端半導(dǎo)體質(zhì)量控制設(shè)備，包括檢測(cè)設(shè)備和量測(cè)設(shè)備兩大類。

檢測(cè)設(shè)備的主要功能系檢測(cè)晶圓表面或電路結(jié)構(gòu)中是否出現(xiàn)異質(zhì)情況，如顆粒污染、表面劃傷、開短路等對(duì)芯片工藝性能具有不良影響的特征性結(jié)構(gòu)缺陷；量測(cè)設(shè)備的主要功能則是對(duì)被觀測(cè)的晶圓電路上的結(jié)構(gòu)尺寸和材料特性做出量化描述，如薄膜厚度、關(guān)鍵尺寸、刻蝕深度、表面形貌等物理性參數(shù)的量測(cè)。

質(zhì)量控制設(shè)備是集成電路生產(chǎn)過程中的核心設(shè)備之一，是保證芯片生產(chǎn)良品率的關(guān)鍵。

中科飛測(cè)自成立以來，始終堅(jiān)持自主研發(fā)、自主創(chuàng)新，攻克了多項(xiàng)設(shè)備關(guān)鍵模塊自主化開發(fā)難題。經(jīng)過多年的技術(shù)積累，公司已形成深紫外成像掃描技術(shù)、高精度多模式干涉量測(cè)技術(shù)、基于參考區(qū)域?qū)Ρ鹊娜毕葑R(shí)別算法技術(shù)等 9 項(xiàng)核心技術(shù)，擁有專利 160 項(xiàng)，核心技術(shù)成功應(yīng)用于各系列產(chǎn)品，創(chuàng)造了良好的經(jīng)濟(jì)效益。

目前，中科飛測(cè)的產(chǎn)品成功實(shí)現(xiàn)科技成果與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的深度融合，獲得國(guó)內(nèi)多家龍頭集成電路前道制程及先進(jìn)封裝廠商的設(shè)備驗(yàn)收和批量訂單。與中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、士蘭集科、長(zhǎng)電科技、華天科技、通富微電等集成電路前道制程及先進(jìn)封裝企業(yè)建立了深入的合作關(guān)系，助力客戶實(shí)現(xiàn)降本增效目標(biāo)。

同時(shí)，公司對(duì)高端半導(dǎo)體質(zhì)量控制設(shè)備的持續(xù)研發(fā)推動(dòng)了國(guó)內(nèi)精密零部件供應(yīng)商不斷研發(fā)和完善其產(chǎn)品體系，在部分細(xì)分領(lǐng)域填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體質(zhì)量控制設(shè)備市場(chǎng)的空白，實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)化突破。在國(guó)家推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的過程中，中科飛測(cè)承擔(dān)了國(guó)家科技重大專項(xiàng)、國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃等眾多科研項(xiàng)目，已成為我國(guó)半導(dǎo)體質(zhì)量控制設(shè)備領(lǐng)域的中堅(jiān)力量。

以實(shí)現(xiàn)自主可控為己任，全面投資布局半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈

物聯(lián)網(wǎng)、5G 通信、汽車電子等新型應(yīng)用市場(chǎng)的不斷發(fā)展產(chǎn)生了巨大的半導(dǎo)體產(chǎn)品需求，推動(dòng)半導(dǎo)體行業(yè)進(jìn)入新一輪的發(fā)展周期。全球范圍內(nèi)，晶圓廠產(chǎn)能擴(kuò)充仍在繼續(xù)，下游需求的不斷發(fā)展為半導(dǎo)體設(shè)備制造產(chǎn)業(yè)的擴(kuò)張和升級(jí)提供了機(jī)遇。

憑借巨大的市場(chǎng)容量以及多年的發(fā)展，中國(guó)已成為全球最大的半導(dǎo)體消費(fèi)國(guó)和生產(chǎn)國(guó)，對(duì)檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備的需求將持續(xù)快速增長(zhǎng)。然而，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)整體國(guó)產(chǎn)化率的提升還處于起步階段，目前國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商所使用的半導(dǎo)體設(shè)備仍主要依賴進(jìn)口。如果檢測(cè)、量測(cè)設(shè)備被人卡脖子，對(duì)于國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體的制造也將是沉重的打擊。

華控基金以實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上下游技術(shù)創(chuàng)新和自主可控為己任，重點(diǎn)投資國(guó)產(chǎn)有積累、有突破、有創(chuàng)新的技術(shù)領(lǐng)軍企業(yè)，已經(jīng)完成了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的全面投資和布局。

秉持著硬科技投資的初心，華控基金在半導(dǎo)體這個(gè)技術(shù)和資金密集的重資產(chǎn)領(lǐng)域堅(jiān)定投入，陪伴企業(yè)實(shí)現(xiàn)成長(zhǎng)。在全球經(jīng)濟(jì)引擎加速后，華控基金將不斷助力企業(yè)技術(shù)突破創(chuàng)新，全面助力實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備供給側(cè)提升，邁上全新臺(tái)階。