今日，華控基金投資的國內唯一前道光學量檢測設備生產企業深圳中科飛測科技股份有限公司（以下簡稱：中科飛測）成功過會。華控基金作為中科飛測的主要股東，圍繞半導體產業鏈上下游技術創新和自主可控堅定投入，陪伴企業共同成長。

科技與產業深度融合，填補國內高端半導體質控設備市場空白

中科飛測立足于采用光學檢測技術的高端半導體質量控制設備的研發工作，主要產品為高端半導體質量控制設備，包括檢測設備和量測設備兩大類。

檢測設備的主要功能系檢測晶圓表面或電路結構中是否出現異質情況，如顆粒污染、表面劃傷、開短路等對芯片工藝性能具有不良影響的特征性結構缺陷；量測設備的主要功能則是對被觀測的晶圓電路上的結構尺寸和材料特性做出量化描述，如薄膜厚度、關鍵尺寸、刻蝕深度、表面形貌等物理性參數的量測。

質量控制設備是集成電路生產過程中的核心設備之一，是保證芯片生產良品率的關鍵。

中科飛測自成立以來，始終堅持自主研發、自主創新，攻克了多項設備關鍵模塊自主化開發難題。經過多年的技術積累，公司已形成深紫外成像掃描技術、高精度多模式干涉量測技術、基于參考區域對比的缺陷識別算法技術等 9 項核心技術，擁有專利 160 項，核心技術成功應用于各系列產品，創造了良好的經濟效益。

目前，中科飛測的產品成功實現科技成果與半導體產業的深度融合，獲得國內多家龍頭集成電路前道制程及先進封裝廠商的設備驗收和批量訂單。與中芯國際、長江存儲、士蘭集科、長電科技、華天科技、通富微電等集成電路前道制程及先進封裝企業建立了深入的合作關系，助力客戶實現降本增效目標。

同時，公司對高端半導體質量控制設備的持續研發推動了國內精密零部件供應商不斷研發和完善其產品體系，在部分細分領域填補了國內高端半導體質量控制設備市場的空白，實現了國產化突破。在國家推動半導體產業發展的過程中，中科飛測承擔了國家科技重大專項、國家重點研發計劃等眾多科研項目，已成為我國半導體質量控制設備領域的中堅力量。

以實現自主可控為己任，全面投資布局半導體產業鏈

物聯網、5G 通信、汽車電子等新型應用市場的不斷發展產生了巨大的半導體產品需求，推動半導體行業進入新一輪的發展周期。全球范圍內，晶圓廠產能擴充仍在繼續，下游需求的不斷發展為半導體設備制造產業的擴張和升級提供了機遇。

憑借巨大的市場容量以及多年的發展，中國已成為全球最大的半導體消費國和生產國，對檢測和量測設備的需求將持續快速增長。然而，中國半導體設備行業整體國產化率的提升還處于起步階段，目前國內半導體生產廠商所使用的半導體設備仍主要依賴進口。如果檢測、量測設備被人卡脖子，對于國產半導體的制造也將是沉重的打擊。

華控基金以實現半導體產業鏈上下游技術創新和自主可控為己任，重點投資國產有積累、有突破、有創新的技術領軍企業，已經完成了半導體產業鏈的全面投資和布局。

秉持著硬科技投資的初心，華控基金在半導體這個技術和資金密集的重資產領域堅定投入，陪伴企業實現成長。在全球經濟引擎加速后，華控基金將不斷助力企業技術突破創新，全面助力實現國產半導體設備供給側提升，邁上全新臺階。