摘要:近日,據央視新聞聯播報道,在蘇州工業園區材料科學姑蘇實驗室,來自全國的十幾位材料領域研究人員,正圍繞蘇州一家企業提出的光刻膠技術難題,開展聯合攻關。
近日,據央視新聞聯播報道,在蘇州工業園區材料科學姑蘇實驗室,來自全國的十幾位材料領域研究人員,正圍繞蘇州一家企業提出的光刻膠技術難題,開展聯合攻關。
據悉,姑蘇實驗室是江蘇省重點科創實驗室,總投資200個億,實驗室瞄準國家戰略需求和蘇州未來產業發展方向,匯聚全球科技人才,解決產業發展中的卡脖子問題。雖然成立不到一年,但是實驗室已經在高端材料生長系統、人工智能材料大數據、光譜成像芯片三個方向取得重要進展。
創新是企業核心競爭力的源泉,很多核心技術是求不到、買不來的。眾所周知,光刻機被譽為半導體制造業皇冠上的明珠,是發展國產芯片的關鍵技術。而光刻膠作為生產芯片的關鍵材料、高值耗材產品,目前主要被日本、美國企業壟斷,成為我國存在著的一大難題。
科技如何自立自強?“卡脖子”的核心技術如何突破?這一方面需要頂層設計支持,另一方面也需要從事實體經濟的企業勇于投入科研攻關。在光刻膠領域,這一趨勢越來越明顯,特別是近年來我國芯片產業開始高速發展,對于光刻膠的需求就更加明顯了。
據知情人士透露,上述提及的攜手姑蘇實驗室聯合公關光刻膠技術難題的蘇州企業正是晶瑞股份。據介紹,晶瑞股份是國內最早實現光刻膠規模量產的領先企業,公司致力于打造微電子材料企業聯合體,突破中國半導體關鍵卡脖子材料。目前,公司生產的負膠已完全實現國產替代,國市占有率達70%以上,i線光刻膠批量供應S公司、長鑫等主流半導體廠。
2021年1月19日,晶瑞股份經多方協商、積極運作順利購得的ASML XT 1900 Gi型光刻機,運抵蘇州并成功搬入公司高端光刻膠研發實驗室。市場人士分析稱,此舉有助于公司將光刻膠產品序列實現到ArF光刻膠的跨越,并最終實現應用于12英寸芯片制造的戰略布局。
有數據顯示,2019年我國g線/i線光刻膠的自給率僅有20%,KrF光刻膠自給率不足5%,ArF光刻膠則完全依賴進口,作為高值耗材的產品,我國每年都需要從海外大量進口光刻膠,這顯然是不利于國內半導體產業發展的情況。
晶瑞股份表示,目前公司已完成中試的KrF光刻膠已進入客戶測試階段,達到0.15μm的分辨率。后續,公司將繼續加強科研攻堅,提升關鍵設備的技術先進性,加快產品研發項目,以科技自立自強支撐實業的發展。相信,只要中國企業能夠腳踏實地地干下去,就必定可以打破海外的技術封鎖,實現半導體產業完全自主。
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